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D07-7B气体质量流量控制器（5SCCM-10SLM）

简要描述：

D07-7B气体质量流量控制器（5SCCM-10SLM）
D07-7B 气体质量流量控制器
★高性能价格比、普通型产品
★橡胶密封、模拟电路的MFC
★7A型的更新换代型

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D07-7B气体质量流量控制器（5SCCM-10SLM）

D07-7B气体质量流量控制器（5SCCM-10SLM）产品用途：

质量流量控制器（MFC）用于对气体的质量流量进行精密地测量和控制。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。

产品特点：

★高性能价格比、普通型产品

★橡胶密封、模拟电路的MFC

★7A型的更新换代型

★管状分流，使用寿命长

技术参数：

满量程流量范围（N₂）	5SCCM～10SLM
控制范围	2～100％F.S.
阀类型（及阀初始状态）	电磁调节阀（常闭）
准确度	±1.5％F.S.
线性	±0.5～1.5％F.S.
重复精度	±0.2％F.S.
响应时间	≤7sec
工作温度范围	5～45℃
工作压差	0.1～0.5MPa
耐压	3MPa
漏气率	1×10^-8atm.cc/sec He
通道湿材料	316L不锈钢、密封材料
静密封材料	氟橡胶（或丁晴橡胶、硅橡胶）
电连接器	D sub 9 pins male，D sub 15 pins male，DeviceNet^TMmale
动密封材料	氟橡胶（或丁晴橡胶、硅橡胶、聚四氟乙烯）
接头选择	VCR 1/4”
接头选择	双卡套 1/4”或φ6、φ3
重量	1.1Kg

详细参数：

产品型号	D07-7B
产品类型	普通型
流量量程	5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm,10slm
产品精度	±1.5％F.S.
重复精度	±0.2% FS
线性	±1％F.S.
响应时间	≤10sec
工作温度范围	(5~45)°C
耐压	3MPa
密封材料	氟橡胶Viton,氯丁橡胶(耐氨橡胶) Neoprene
输入输出信号	(0~5)VDC
电源	±15V
阀类型	常闭
温度系数	- 无 -
零点飘移指标	- 无 -
电气连接	D sub 15 pins Female
工作压差范围	(0.1～0.5) MPa
漏率	1×10-8atm•cc / sec He（1×10-9 Pa•m3 / sec He）
标准接头形式	双卡套Φ8,双卡套Φ6,双卡套Φ3,双卡套1/8”,φ4(内)×1软管接头,VCR1/4”,双卡套1/4”,φ6(内)×1软管接头
表面化学成分	- 无 -
表面粗糙度	- 无 -
抗电磁干扰	- 无 -
重量	1.1Kg